由于電子產(chǎn)品的特殊性，高科技電子工業(yè)廠房對微振動的要求高于普通廠房。太大的環(huán)境振動會影響精密生產(chǎn)設備的對準、曝光、量測、修補結(jié)果及顯微影像辨識，進而降低產(chǎn)品的合格率，延長生產(chǎn)時間。

廠房振動路徑來源有很多，如下圖。實際生產(chǎn)過程中會更復雜。

測量廠房振動是否滿足生產(chǎn)儀器的標準，可以通過下面的VC曲線來評估。

晶鉆儀器為研究電子工業(yè)廠房主體結(jié)構(gòu)的微振動特性，采用國際通用的1/3倍頻程分析發(fā)對個測點速度、加速度時域數(shù)據(jù)進行處理，對比分析自由場地及廠房主體結(jié)構(gòu)的微振動響應特性。分析該電子廠房內(nèi)各測點微振動是否滿足VC曲線標準。

打開動態(tài)信號分析儀CoCo-80X，進入DSA模式。選擇倍頻程濾波器選項，啟用倍頻程分析功能。設置響應的參數(shù)，并選擇VC曲線選項。

如上圖，CoCo-80X信號采集與分析儀這樣就可以得到實測數(shù)據(jù)與VC曲線的對比圖了，非常方便。

當然，你也可以使用CoCo-80X記錄時域信號，通過網(wǎng)線或SD卡下載到PC電腦中，借助于晶鉆PA后處理軟件，同樣在倍頻程分析功能中通過VC曲線顯示對比，并生成報告。