微振動是人們感受不到的微小振動，但可以用高精度儀器測量。更準(zhǔn)確地說，微振動是頻率范圍在1-100Hz之間，速度幅值小于50μm/s的振動。
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，臺積電生產(chǎn)芯片的晶體管寬度已經(jīng)小到5nm。在生產(chǎn)過程中，很多高精度儀器用于測量微振動。如果缺少這些高精度儀器，晶圓的成品率將大大降低。
微振動可以來源自集成電路工廠的內(nèi)部或外部。微振動的外部來源包括火車、地鐵、汽車交通、飛機(jī)飛行、工廠和建筑等。集成電路工廠通常選址在外部振動源影響較小的地方。在建造集成電路廠時，通常對結(jié)構(gòu)平面做特殊設(shè)計(jì)，并且選擇特別的建筑材料，以減小外部振動的影響。
微振動的精確測量是控制噪聲干擾的第一步。根據(jù)振動精密設(shè)備的通用振動標(biāo)準(zhǔn)，振動標(biāo)準(zhǔn)的速度RMS為50 ~ 3.1μm/s(2000 ~ 125μin/s)。測量如此微小的振動，必須使用高靈敏度和低頻傳感器。本案例中，我們使用晶鉆儀器公司研發(fā)的動態(tài)信號分析儀CoCo-80X數(shù)據(jù)分析儀和Wilcoxon?WR 731以及PCB 393B31加速度傳感器。
動態(tài)信號分析儀CoCo-80X
PCB 高靈敏度低頻加速度傳感器
與傳統(tǒng)分析儀相比，手持式動態(tài)信號分析儀CoCo-80X非常適合用于測量微振動。CoCo-80X是一種便攜式設(shè)備，它不是一臺計(jì)算機(jī)，攜帶它可以避免對帶入集成電路工廠的計(jì)算機(jī)進(jìn)行的繁瑣檢查步驟。CoCo-80X采集數(shù)據(jù)并提供現(xiàn)場實(shí)時分析。之后，用戶可以使用晶鉆公司的后處理軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，做進(jìn)一步分析。
