由于電子產品的特殊性,高科技電子工業廠房對微振動的要求高于普通廠房。太大的環境振動會影響精密生產設備的對準、曝光、量測、修補結果及顯微影像辨識,進而降低產品的合格率,延長生產時間。
測量廠房振動是否滿足生產儀器的標準,可以通過下面的VC曲線來評估。
晶鉆儀器為研究電子工業廠房主體結構的微振動特性,采用國際通用的1/3倍頻程分析發對個測點速度、加速度時域數據進行處理,對比分析自由場地及廠房主體結構的微振動響應特性。分析該電子廠房內各測點微振動是否滿足VC曲線標準。
打開動態信號分析儀CoCo-80X,進入DSA模式。選擇倍頻程濾波器選項,啟用倍頻程分析功能。設置響應的參數,并選擇VC曲線選項。
如上圖,CoCo-80X信號采集與分析儀這樣就可以得到實測數據與VC曲線的對比圖了,非常方便。
當然,你也可以使用CoCo-80X記錄時域信號,通過網線或SD卡下載到PC電腦中,借助于晶鉆PA后處理軟件,同樣在倍頻程分析功能中通過VC曲線顯示對比,并生成報告。