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]]>隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,臺積電生產(chǎn)芯片的晶體管寬度已經(jīng)小到5nm。在生產(chǎn)過程中,很多高精度儀器用于測量微振動。如果缺少這些高精度儀器,晶圓的成品率將大大降低。
微振動可以來源自集成電路工廠的內(nèi)部或外部。微振動的外部來源包括火車、地鐵、汽車交通、飛機(jī)飛行、工廠和建筑等。集成電路工廠通常選址在外部振動源影響較小的地方。在建造集成電路廠時(shí),通常對結(jié)構(gòu)平面做特殊設(shè)計(jì),并且選擇特別的建筑材料,以減小外部振動的影響。
微振動的精確測量是控制噪聲干擾的第一步。根據(jù)振動精密設(shè)備的通用振動標(biāo)準(zhǔn),振動標(biāo)準(zhǔn)的速度RMS為50 ~ 3.1μm/s(2000 ~ 125μin/s)。測量如此微小的振動,必須使用高靈敏度和低頻傳感器。本案例中,我們使用晶鉆儀器公司研發(fā)的動態(tài)信號分析儀CoCo-80X數(shù)據(jù)分析儀和Wilcoxon?WR 731以及PCB 393B31加速度傳感器。
動態(tài)信號分析儀CoCo-80X
PCB 高靈敏度低頻加速度傳感器
與傳統(tǒng)分析儀相比,手持式動態(tài)信號分析儀CoCo-80X非常適合用于測量微振動。CoCo-80X是一種便攜式設(shè)備,它不是一臺計(jì)算機(jī),攜帶它可以避免對帶入集成電路工廠的計(jì)算機(jī)進(jìn)行的繁瑣檢查步驟。CoCo-80X采集數(shù)據(jù)并提供現(xiàn)場實(shí)時(shí)分析。之后,用戶可以使用晶鉆公司的后處理軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,做進(jìn)一步分析。
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]]>The post 軸振動和軸承振動檢測解決方案 appeared first on 杭州銳達(dá)數(shù)字技術(shù)有限公司.
]]>軸振動,即軸相對于軸承座的相對振動,一般用在大機(jī)組的在線上。安裝時(shí)是把傳感器(多是位移傳感器-電渦流傳感器)固定在軸承座上,因此測的是軸相對于軸承座的相對位移,單位多是位移;軸振動是機(jī)組振動的源頭,由于旋轉(zhuǎn)件的不平衡、負(fù)載的不均勻、結(jié)構(gòu)剛度的各向異性、間隙、潤滑不良、支撐松動等原因?qū)е抡駝拥陌l(fā)生,所以95%機(jī)組振動的狀態(tài)能夠從軸振動反映出;針對軸振動我們可以采用晶鉆儀器手持式動態(tài)信號分析儀CoCo-80X的轉(zhuǎn)子動力學(xué)分析功能做檢測,提供實(shí)時(shí)階次跟蹤、相位階次跟蹤、軌道分析、動平衡等功能,提取振動信號幅值、時(shí)域、頻域、時(shí)頻特征、相位、軸心軌跡,根據(jù)特征進(jìn)行故障判斷。
軸承座振動,即在監(jiān)測時(shí)把傳感器配有磁鐵吸附在軸承座上(沒有安裝),測的是軸承座的絕對振動。大多數(shù)巡檢用的手持式數(shù)據(jù)采集儀都是如此,如CoCo-80X,多用加速度傳感器。常見的問題是支持松動。支承松動引起系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)剛度變小,很小的激振力會引起較大的振動。該故障有如下的特征(1)、相位不穩(wěn)定(2)振動隨轉(zhuǎn)速變化明顯(3)基頻及分?jǐn)?shù)諧波振幅大,伴隨2f3f…等高頻振幅(4)松動方向振動大(5)軸承座的振動會明顯增大。使用FFT頻譜分析功能,測量軸承座與臺板、臺板與基礎(chǔ)之間的接觸不良,可以通過測量他們之間振動的差異來判斷。觀察檢測點(diǎn)的頻譜值。對于一般的軸承座來說,在同一軸向位置,如下圖,測點(diǎn)上下標(biāo)高差在100mm以內(nèi)的兩個(gè)連接部件,在連接緊固的情況下垂直方向的差別振動應(yīng)小于2μm;滑動面之間正常的差別振動應(yīng)小于5μm;當(dāng)兩個(gè)相鄰部件差別振動明顯大于這些數(shù)據(jù)時(shí),即可判斷鏈接剛度不足。差別振動越大,振動故障越嚴(yán)重。CoCo-80X是一款手持式高精度振動采集儀器,具有24位A/D,動態(tài)范圍150dB,8通道同步采樣最大采樣率102.4kHz,可測量小至6μV和大至±20 V的信號。
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]]>The post 十種儀器儀表故障診斷方法與技巧 appeared first on 杭州銳達(dá)數(shù)字技術(shù)有限公司.
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]]>The post 軸承內(nèi)圈故障相應(yīng)的頻率分析 appeared first on 杭州銳達(dá)數(shù)字技術(shù)有限公司.
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]]>The post 設(shè)備維修方案有哪幾種,優(yōu)缺點(diǎn)是什么? appeared first on 杭州銳達(dá)數(shù)字技術(shù)有限公司.
]]>1、事后維修體制
當(dāng)設(shè)備運(yùn)行到壞了再進(jìn)行修理,優(yōu)點(diǎn)有兩點(diǎn)1)不需要安排計(jì)劃。2)對一些設(shè)備,更換比修理更便宜。缺點(diǎn)有:1)意外停機(jī)引起生產(chǎn)損失。2)可能引起設(shè)備的二次損壞,甚至災(zāi)難性事故。3)庫存?zhèn)浼顿Y多。
2、定期維修體制
按預(yù)訂的時(shí)間間隔或檢修周期,對設(shè)備作維修、調(diào)整和更換備件。優(yōu)點(diǎn)有1)機(jī)器壽命較長。2)、減少意外停機(jī)。3、備件庫存較少。缺點(diǎn)有:1)意外停機(jī)引起生產(chǎn)損失。2)過剩維修導(dǎo)致維修費(fèi)用增加。3)、過剩維修引起人為維修故障。
3、預(yù)測維修體制
有計(jì)劃地對設(shè)備作檢查和測試,以確定其健康狀態(tài),必要時(shí)才進(jìn)行維修。優(yōu)點(diǎn)有1)減少非計(jì)劃停機(jī)損失。2)、維修時(shí)間間隔可以延長。3)、維修費(fèi)用大為減少。4)、備件庫存最小。缺點(diǎn)有1)需要初始投資。2)需學(xué)習(xí)和培訓(xùn)。
大型鋼鐵企業(yè)維修成本比較:
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]]>The post 機(jī)械設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測和故障診斷的過程與作用 appeared first on 杭州銳達(dá)數(shù)字技術(shù)有限公司.
]]>機(jī)械設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測和故障診斷的過程如上圖所示,從簡單的診斷到精密的診斷,最后做出趨勢分析,維修完成檢測工作。
狀態(tài)監(jiān)測和故障診斷的作用主要有以下三個(gè)方面。
1、監(jiān)測與保護(hù)
監(jiān)測機(jī)器工作狀態(tài)。發(fā)現(xiàn)故障及時(shí)報(bào)警,并隔離故障。
2、分析與診斷
判斷故障性質(zhì)、程度和部位。分析故障原因。
3、處理與預(yù)防
給出消除故障的措施。防止發(fā)生同類故障。
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]]>The post 機(jī)械狀態(tài)監(jiān)測中簡易診斷和精密診斷的區(qū)別 appeared first on 杭州銳達(dá)數(shù)字技術(shù)有限公司.
]]>一、從兩者定義比較
簡易診斷法指主要采用便攜式的簡易診斷儀器,如測振儀、聲級計(jì)、工業(yè)內(nèi)窺鏡、紅外點(diǎn)溫儀對設(shè)備進(jìn)行人工巡回監(jiān)測,根據(jù)設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)或人的經(jīng)驗(yàn)分析,了解設(shè)備是否處于正常狀態(tài)。若發(fā)現(xiàn)異常,通過對監(jiān)測數(shù)據(jù)分析進(jìn)一步了解其發(fā)展的趨勢。因此,簡易診斷法主要解決的是狀態(tài)監(jiān)測和一般的趨勢預(yù)報(bào)問題。
精密診斷法指對已產(chǎn)生異常狀態(tài)的原因采用精密診斷儀器和各種分析手段(包括計(jì)算機(jī)輔助分析方法、診斷專家系統(tǒng)等)進(jìn)行綜合分析,以期了解故障的類型、程度、部位和產(chǎn)生的原因及故障發(fā)展的趨勢等問題。精密診斷法主要解決的問題是分析故障部位、程度、原因和較準(zhǔn)確地確定發(fā)展趨勢。
二、從兩者內(nèi)容比較
簡易診斷內(nèi)容包括:1、識別有無故障;2、明確故障的嚴(yán)重程度;3、作出故障趨勢分析。它是由設(shè)備維修人員現(xiàn)場進(jìn)行的。
精密診斷內(nèi)容包括:1、確定故障的部位;2、確定故障原因 ;3、提出維修建議。它是由設(shè)備診斷人員在現(xiàn)場或中心進(jìn)行。
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]]>The post 低中止失控 — 振動控制系統(tǒng)(VCS)報(bào)警信息 appeared first on 杭州銳達(dá)數(shù)字技術(shù)有限公司.
]]>The post 低中止失控 — 振動控制系統(tǒng)(VCS)報(bào)警信息 appeared first on 杭州銳達(dá)數(shù)字技術(shù)有限公司.
]]>The post RMS值高于高終止值 / RMS值低于低終止值、RMS值高于高警告值/RMS值低于低警告值 – 振動控制系統(tǒng)(VCS)報(bào)警信息 appeared first on 杭州銳達(dá)數(shù)字技術(shù)有限公司.
]]>隨機(jī)試驗(yàn)時(shí),當(dāng)前控制譜或某個(gè)控制通道的RMS值高于高終止值或低于低終止值,試驗(yàn)中斷并引發(fā)報(bào)警。該限值在配置——“RMS閾值”中設(shè)置。
RMS值高于高警告值/RMS值低于低警告值
隨機(jī)試驗(yàn)時(shí),當(dāng)前控制譜或某個(gè)控制通道的RMS值高于高終止值或低于低終止值,引發(fā)報(bào)警。該限值在配置——“RMS閾值”中設(shè)置。
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]]>The post 限幅通道丟失與超出位移限制 — 振動控制系統(tǒng)(VCS)報(bào)警信息(故障診斷) appeared first on 杭州銳達(dá)數(shù)字技術(shù)有限公司.
]]>在隨機(jī)振動試驗(yàn)時(shí),某個(gè)限幅通道一直沒有接收到振動信號,或者控制過程中突然檢測不到振動信號,引發(fā)此報(bào)警,試驗(yàn)中斷,可能原因有傳感器斷線、松動、控制通道信號干擾等。
超出位移限制(故障診斷)
振動試驗(yàn)過程中,控制儀檢測到的振動臺位移超過軟件設(shè)置的振動最大位移限值,試驗(yàn)中斷。可能原因:
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